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薄膜封装

浏览数:4,086 发布于:2021-03-08

薄膜封装概念

薄膜真空沉积的一个很重要的技术应用就是薄膜封装。人们对薄膜封装最简单的认识就是日常生活中最常见的保鲜膜,它的水氧渗透率大约是1-10 g/m2/day。而我们所说的先进薄膜封装,则是通过真空沉积一层或多层厚度在纳米或微米尺度的薄膜,大幅减少本体与外界环境之间的物质交换,达到保护本体或外界环境的功能,一般来说水氧渗透率小于0.1 g/m2/day。

化学沉积,包括CVD和ALD,在这个方向具有非常大应用的价值,其对应的终端产品包括OLED显示/照明、量子点显示、光伏、射频/功率器件、MEMS、miniLED、microLED、PCB、医疗器械等。


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