薄膜封装

薄膜封装概念

薄膜真空沉积的一个很重要的技术应用就是薄膜封装。人们对薄膜封装最简单的认识就是日常生活中最常见的保鲜膜，它的水氧渗透率大约是1-10 g/m2/day。而我们所说的先进薄膜封装，则是通过真空沉积一层或多层厚度在纳米或微米尺度的薄膜，大幅减少本体与外界环境之间的物质交换，达到保护本体或外界环境的功能，一般来说水氧渗透率小于0.1 g/m2/day。

化学沉积，包括CVD和ALD，在这个方向具有非常大应用的价值，其对应的终端产品包括OLED显示/照明、量子点显示、光伏、射频/功率器件、MEMS、miniLED、microLED、PCB、医疗器械等。