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PEALD – 卷对卷式原子层沉积设备 Eagle系列 EA-101-R2R/PE

浏览数:285 发布于:2021-03-09

卷对卷式原子层沉积设备 Roll to Roll ALD,Eagle系列(E系列):E系列R2R PEALD产品(代表型号EA-101-R2R/PE)是针对高校、科研院所、企业研发中心等从事基础研究之用户所开发的标准化、全自动化、具有较高稳定性的等离子体增强原子层沉积设备。

Eagle系列 EA-101-R2R/PE

该设备配备有收放卷装置及沉积区内的三对辊(更多对数可选),走膜速度最高可达到0.5m/s,适用于幅宽200mm的薄膜卷材的连续沉积需要。沉积过程中工艺温度低于200℃,且具有良好的薄膜沉积均匀性,在有效沉积范围内可控制在2%以。通过正反向走膜,可在不破坏真空环境的条件下,实现不限次数的循环沉积。

该设备主要用于快速沉积PET、PI、铜箔、铝箔等柔性卷材的水氧阻隔层,具有规模化生产应用的潜力。

态锐仪器提供标准Al2O3薄膜沉积recipe以供客户验收设备之用。如客户有其他薄膜材料的沉积工艺需求,可通过购买相应的标准recipe或工艺开发服务获得技术支持。

卷对卷式原子层沉积系统结构示意图 (Roll to Roll ALD Scheme)

Roll to Roll ALD Scheme结构示意图

Eagle系列 EA-101-R2R/PE设备参数,如下表:

基材尺寸≤200 mm
基材类型金属膜,塑料薄膜
工作温度≤ 200℃,具体温度可根据工艺和基材选择
走膜速度0.1~0.5 m/s
前驱体源最多5路
沉积材料SiO2、Al2O3、HfO2、MgO、TiN、TiO2、ZnO、ZnS等
薄膜不均匀性< ± 2 %
设备尺寸2000mm x 1000mm x 2000mm(长x宽x高)
观察窗配备观察窗

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